Разработка научных основ моделирования и конструирования усовершенствованных индукционных испарителей
Вантажиться...
Дата
2013
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Опис
Ключові слова
індукційний випарник, паровий потік, електричний розряд, іонізація пари, масоперенос, осадження, тонкі плівки, радіаційна стійкість МОН-структур, индукционный испаритель, паровой поток, электрический разряд, ионизация пара, массоперенос, осаждение, тонкие плёнки, радиационная стойкость МОП-структур, induction evaporator, vapor flow, electrical discharge, vapor ionization, mass transfer, deposition, thin films, radiation resistance of MOS-structures
Бібліографічний опис
Цыбульский Л. Ю. Разработка научных основ моделирования и конструирования усовершенствованных индукционных испарителей : дис. ... канд. техн. наук. : 05.27.02 - вакуумная, плазменная и квантовая электроника / Л. Ю. Цыбульский. – К., 2013. – 260 л. + СD-ROM