Разработка научных основ моделирования и конструирования усовершенствованных индукционных испарителей
| dc.contributor.advisor | Кузьмичёв, Анатолий Иванович | |
| dc.contributor.author | Цыбульский, Леонид Юрьевич | |
| dc.contributor.degreedepartment | электронных приборов и устройств | uk |
| dc.contributor.degreefaculty | электроники | uk |
| dc.contributor.degreegrantor | Национальный технический університет Украины "Киевский политехнический институт" | uk |
| dc.date.accessioned | 2013-12-27T10:40:03Z | |
| dc.date.available | 2013-12-27T10:40:03Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.format.page | 260 л. | uk |
| dc.identifier.citation | Цыбульский Л. Ю. Разработка научных основ моделирования и конструирования усовершенствованных индукционных испарителей : дис. ... канд. техн. наук. : 05.27.02 - вакуумная, плазменная и квантовая электроника / Л. Ю. Цыбульский. – К., 2013. – 260 л. + СD-ROM | uk |
| dc.identifier.uri | https://ela.kpi.ua/handle/123456789/6484 | |
| dc.language.iso | ru | uk |
| dc.publisher.place | Киев | uk |
| dc.rights | Дисертація захищена авторським правом. Переглянути її можливо з цього джерела з будь-якою метою, але копіювання та розповсюдження в будь-якому форматі забороняється без письмового дозволу. | uk |
| dc.status.pub | published | uk |
| dc.subject | індукційний випарник | uk |
| dc.subject | паровий потік | uk |
| dc.subject | електричний розряд | uk |
| dc.subject | іонізація пари | uk |
| dc.subject | масоперенос | uk |
| dc.subject | осадження | uk |
| dc.subject | тонкі плівки | uk |
| dc.subject | радіаційна стійкість МОН-структур | uk |
| dc.subject | индукционный испаритель | uk |
| dc.subject | паровой поток | uk |
| dc.subject | электрический разряд | uk |
| dc.subject | ионизация пара | uk |
| dc.subject | массоперенос | uk |
| dc.subject | осаждение | uk |
| dc.subject | тонкие плёнки | uk |
| dc.subject | радиационная стойкость МОП-структур | uk |
| dc.subject | induction evaporator | uk |
| dc.subject | vapor flow | uk |
| dc.subject | electrical discharge | uk |
| dc.subject | vapor ionization | uk |
| dc.subject | mass transfer | uk |
| dc.subject | deposition | uk |
| dc.subject | thin films | uk |
| dc.subject | radiation resistance of MOS-structures | uk |
| dc.subject.udc | 621:389; 621.3.01 | uk |
| dc.title | Разработка научных основ моделирования и конструирования усовершенствованных индукционных испарителей | uk |
| dc.type | Thesis Doctoral | uk |
| thesis.degree.level | candidate | uk |
| thesis.degree.name | кандидат технических наук | uk |
| thesis.degree.speciality | 05.27.02 - вакуумная, плазменная и квантовая электроника Диссертация | uk |