Вплив додаткових шарів Tb і Mn на термічно-індуковане формування структури тонких плівок FePt
Вантажиться...
Дата
2020-05
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Магістерська дисертація: 77 сторінок, 15 таблиць, 26 рисунків, 4 формули, 42 літературних джерела.
Об'єкт досліджень: нанорозмірні плівкові композиції FePt(30нм), FePt(15нм)/Tb(10нм)/FePt(15нм) та FePt(15нм)/Mn(10нм)/FePt(15нм), осаджені методом магнетронного розпорошення на термічно-окиснені кремнієві підкладинки SiO2(100нм)/Si(001).
Предмет дослідження: процеси структурно-фазових перетворень та упорядкування у нанорозмірних плівкових композиціях FePt(30нм), FePt(15нм)/Tb(10нм)/FePt(15нм) та FePt(15нм)/Mn(10 нм)/FePt(15нм).
Мета роботи:дослідження закономірностей термічно-індукованого дифузійного фазоутворення в нанорозмірних плівкових композиціях FePt(30нм), FePt(15нм)/Tb(10нм)/FePt(15нм) та FePt(15нм)/Mn(10нм)/FePt(15нм) в процесі їхньої термічної обробки у вакуумі.
Методи дослідження: рентгеноструктурний фазовий аналіз, мас-спектрометрія вторинних іонів.
Результати досліджень та їх новизна: виявлено, що після осадження плівкових композицій FePt, FePt/Tb/FePt та FePt/Mn/FePt в їхній структурі формується невпорядкована фаза A1-FePt. В процесі відпалу відбувається формування впорядкованої фази L10-FePt за температури 550 °С у зразках FePt/Mn/FePt та FePt. При відпалі плівкової композиції FePt/Tb/FePt за температури 550 °С в її структурі утворюється проміжна інтерметалідна фаза Pt2Tb. Прикладання зовнішнього магнітного поля в процесі термічної обробки обумовлює прискорення процесу впорядкування кристалічної структури досліджуваних плівкових матеріалів.
Опис
Ключові слова
відпал, дифузія, проміжний шар, структура, тонкоплівкові композиції, фаза, annealing, diffusion, intermediate layer, structure, thin film composition, phase
Бібліографічний опис
Трубчанінова, Д. І. Вплив додаткових шарів Tb і Mn на термічно-індуковане формування структури тонких плівок FePt : магістерська дис. : 132 Матеріалознавство / Трубчанінова Дар’я Ігорівна. – Київ, 2020. – 77 с.