Peculiarities of Usage Diamond-Like Carbon Films as Antireflection Coating
Вантажиться...
Дата
2020
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
The series of three diamond-like carbon films was fabricated using Plasma – Enhanced Chemical Vapor
Deposition setup designed for deposition of amorphous silicon films. The deposited films were analyzed by Spectroscopic
ellipsometer Semilab SE-2000 in terms of optical properties. All the measurements were analyzed and modeled by the Fresnel equations. Three parameters were identified: refractive index, extinction index, and thickness. The range of these values
indicates that the films can be used as antireflection coatings. The obtained values for n, k, and d are located in ranges: for
n - 1.484 and 1621, for k - 0.345 and 0.062, and for d- 136.20 and 74.66.
Опис
Ключові слова
DLC film, PECVD method, spectroscopic ellipsometry, antireflection coatings, refractive index, плівка DLC, Метод PECVD, спектроскопічна еліпсометрія, антивідбивні покриття, показник заломлення
Бібліографічний опис
Peculiarities of Usage Diamond-Like Carbon Films as Antireflection Coating / D. Zelinskyi, V. Horokhov, O. Kondratenko, L. Shmyrova, T. Semikina // Електронна та Акустична Інженерія : науково-технічний журнал. – 2020. – Т. 3, № 3. – С. 16-20. – Бібліогр.: 10 назв.