Peculiarities of Usage Diamond-Like Carbon Films as Antireflection Coating

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorZelinskyi, D.
dc.contributor.authorHorokhov, V.
dc.contributor.authorKondratenko, O.
dc.contributor.authorShmyrova, L.
dc.contributor.authorSemikina, T.
dc.date.accessioned2023-03-30T08:23:59Z
dc.date.available2023-03-30T08:23:59Z
dc.date.issued2020
dc.description.abstractThe series of three diamond-like carbon films was fabricated using Plasma – Enhanced Chemical Vapor Deposition setup designed for deposition of amorphous silicon films. The deposited films were analyzed by Spectroscopic ellipsometer Semilab SE-2000 in terms of optical properties. All the measurements were analyzed and modeled by the Fresnel equations. Three parameters were identified: refractive index, extinction index, and thickness. The range of these values indicates that the films can be used as antireflection coatings. The obtained values for n, k, and d are located in ranges: for n - 1.484 and 1621, for k - 0.345 and 0.062, and for d- 136.20 and 74.66.uk
dc.description.abstractotherПлівки аморфного гідрогенізованого вуглецю а-С:Н завдяки таким властивостям, як хімічна інертність, інфрачервнева прозорість, твердість, зносостійкість, низький коефіцієнт тертя та біосумісність знаходять застосування в оптиці і електроніці, машинобудуванні та медицині. В представленій роботі плівки аморфного вуглецю досліджуються з метою подальшого їх застосування в якості антивідбиваючого покриття на інфрачервневих вікнах з германію, а також для орієнтування рідких кристалічних шарів в рідкокристалічних модуляторах світла. В роботі наведено технологічні чинники плазмохімічного осадження плівок з газової фази як одного з найпоширеніших та результативних технологічних методів. Серія з трьох алмазоподібних вуглецевих плівок була виготовлена за допомогою плазмохімічної установки для осадження a-C:H плівок. Осаджені плівки аналізували спектроскопічним еліпсометром Semilab SE-2000, що являє собою унікальну модульну оптичну платформу, що включає спектроскопічний еліпсометр з обертовим компенсатором. Спектральний еліпсометр дозволяє проводити безконтактний, неруйнівний оптичний аналіз одно- і багатошарових структур на кремнії, склі, плівковому носії, а також визначати товщину тонкоплівкових зразків і їх оптичні властивості такі як: коефіцієнт заломлення, показник поглинання, оптична ширина забороненої зони. В роботі наведено залежності отриманих еліпсометричних коефіцієнтів. На основі отриманих залежностей було виконано розрахунки з використанням матриць та рівнянь Френеля. На основі вимірювань залежності коефіцієнта відбиття від кута падіння монохроматичного випромінювання реалізовані можливості багатопараметричного, локального, експрес-неруйнівного визначення товщини, показників заломлення та поглинання шарів від кількох нанометрів до десятих мікрометра. Отримані значення для n, k і d знаходяться в діапазонах: для n - 1,448 - 1,621, для k - 0,345 - 0,062, а для d від 136,20 нм до 74,66 нм. Для використання вуглецевих плівок в якості антивідбивних покриттів необхідно, щоб його показник заломлення мав значення близько 2,0. Отримані значення показника заломлення є меншими, що не відповідає вимогам для антивідбивних покриттів. Але значення n - 1,448 - 1,621 задовольняє вимогам використання плівок для формування однорідної орієнтації рідких кристалів в пристроях на їх основі.uk
dc.format.pagerangeС. 16-20uk
dc.identifier.citationPeculiarities of Usage Diamond-Like Carbon Films as Antireflection Coating / D. Zelinskyi, V. Horokhov, O. Kondratenko, L. Shmyrova, T. Semikina // Електронна та Акустична Інженерія : науково-технічний журнал. – 2020. – Т. 3, № 3. – С. 16-20. – Бібліогр.: 10 назв.uk
dc.identifier.doihttps://doi.org/10.20535/2617-0965.2020.3.3.199800
dc.identifier.orcid0000-0002-8617-6562uk
dc.identifier.orcid0000-0002-5609-6916uk
dc.identifier.orcid0000-0003-1948-4431uk
dc.identifier.orcid0000-0001-5497-4140uk
dc.identifier.orcid0000-0002-6182-4703uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/54129
dc.language.isoenuk
dc.publisherКПІ ім. Ігоря Сікорськогоuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
dc.sourceЕлектронна та Акустична Інженерія : науково-технічний журнал, 2020, Т. 3, № 3
dc.subjectDLC filmuk
dc.subjectPECVD methoduk
dc.subjectspectroscopic ellipsometryuk
dc.subjectantireflection coatingsuk
dc.subjectrefractive indexuk
dc.subjectплівка DLCuk
dc.subjectМетод PECVDuk
dc.subjectспектроскопічна еліпсометріяuk
dc.subjectантивідбивні покриттяuk
dc.subjectпоказник заломленняuk
dc.subject.udc524.572uk
dc.titlePeculiarities of Usage Diamond-Like Carbon Films as Antireflection Coatinguk
dc.title.alternativeОсобливості використання алмазоподібних вуглецевих плівок в якості антивідбивних покриттівuk
dc.typeArticleuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
EAI2020_3-3_16-20.pdf
Розмір:
652.68 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
9.1 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Електронна та Акустична Інженерія: науково-технічний журнал, Т. 3, № 3