Исследование характеристик планарного упругого подвеса осевого микромеханического акселерометра прямого преобразования

Анотація

Опис

Ключові слова

микромеханический акселерометр, упругий подвес, податливость, жесткость, масштабный коэффициент, мікромеханічний акселерометр, пружний підвіс, податливість, жорсткість, масштабний коефіцієнт, micromechanical accelerometer, elastic suspension, compliance, stiffness, scale factor

Бібліографічний опис

Балабанов И. В. Исследование характеристик планарного упругого подвеса осевого микромеханического акселерометра прямого преобразования / И. В. Балабанов, Т. В. Балабанова // Механіка гіроскопічних систем : науково-технічний збірник. – 2014. – Вип. 27. – С. 68–76. – Бібліогр.: 3 назви.

ORCID

DOI