Исследование характеристик планарного упругого подвеса осевого микромеханического акселерометра прямого преобразования

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorБалабанов, И. В.
dc.contributor.authorБалабанова, Т. В.
dc.contributor.authorБалабанов, Ігор Валерійович
dc.contributor.authorБалабанова, Тетяна Василівна
dc.contributor.authorBalabanov, I. V.
dc.contributor.authorBalabanova, T. V.
dc.date.accessioned2016-08-11T13:10:32Z
dc.date.available2016-08-11T13:10:32Z
dc.date.issued2014
dc.description.abstractenAxial accelerometers with a planar silicon suspension and capacitive sensor for inertial mass displacement are one of the most promising navigational sensors at the present time. On the other hand improvement of the precision characteristics remains a primary problem to be investigated for micromechanical sensors. The main requirement for this type of sensors is the constancy of the operating compliance throughout the whole metrical range of the accelerometer. Furthermore, the operating compliance has to be small enough to allow the measurement of the upper limit of acceleration. In the present work we provide the detailed design features analysis for the direct action planar accelerometers. We also show stiffness characteristics of an elastic suspension inside the aforementioned accelerometer and determine the degree of characteristics variation by the displacement of its inertial mass. Further, we investigate the nature of nonlinearity of the scale factor in the direct action axial micromechanical accelerometers and characterize the conditions of its appearance. As a result we propose modifications to the structure of the elastic suspension in the accelerometer for significant reduction of the nonlinearity of its scale factor.uk
dc.description.abstractruИсследован механизм возникновения нелинейности масштабного коэффициента осевого микромеханического акселерометра прямого преобразования и показаны способы ее устранения.uk
dc.description.abstractukДосліджено механізм виникнення нелінійності масштабного коефіцієнта осьового мікромеханічного акселерометра прямого перетворення і показані способи її усунення.uk
dc.format.pagerangeС. 68-76uk
dc.identifier.citationБалабанов И. В. Исследование характеристик планарного упругого подвеса осевого микромеханического акселерометра прямого преобразования / И. В. Балабанов, Т. В. Балабанова // Механіка гіроскопічних систем : науково-технічний збірник. – 2014. – Вип. 27. – С. 68–76. – Бібліогр.: 3 назви.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/17312
dc.language.isoruuk
dc.publisherНТУУ "КПІ"uk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.source.nameМеханіка гіроскопічних систем: науково-технічний збірникuk
dc.status.pubpublisheduk
dc.subjectмикромеханический акселерометрru
dc.subjectупругий подвесru
dc.subjectподатливостьru
dc.subjectжесткостьru
dc.subjectмасштабный коэффициентru
dc.subjectмікромеханічний акселерометрuk
dc.subjectпружний підвісuk
dc.subjectподатливістьuk
dc.subjectжорсткістьuk
dc.subjectмасштабний коефіцієнтuk
dc.subjectmicromechanical accelerometeren
dc.subjectelastic suspensionen
dc.subjectcomplianceen
dc.subjectstiffnessen
dc.subjectscale factoren
dc.subject.udc531.383uk
dc.titleИсследование характеристик планарного упругого подвеса осевого микромеханического акселерометра прямого преобразованияuk
dc.title.alternativeДослідження характеристик планарного пружного підвісу осьового мікромеханічного акселерометра прямого перетворенняuk
dc.title.alternativeInvestigation of characteristics of the planar elastic suspension in the direct action axial micromechanical accelerometersuk
dc.typeArticleuk
thesis.degree.level-uk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
mgs27_10_Balabanov.pdf
Розмір:
248.88 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
7.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Механіка гіроскопічних систем: науково-технічний збірник, Вип. 27