Особливості фотолюмінесценції та спектрів пропускання тонких шарів пористого кремнію на діелектричних основах
Вантажиться...
Дата
2017
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
пористий кремній, фотолюмінесценція, хімічне травлення, спектр, тонкі плівки, porous silicon, photoluminescence, chemical etching, spectrum, thin films, пористый кремний, фотолюминесценция, химическое травление, тонкие пленки
Бібліографічний опис
Душейко, М. Г. Особливості фотолюмінесценції та спектрів пропускання тонких шарів пористого кремнію на діелектричних основах / Душейко М. Г., Кольцов Г. С., Обухова Т. Ю. // Мікросистеми, Електроніка та Акустика : науково-технічний журнал. – 2017. – Т. 22, № 6(101). – С. 6–11. – Бібліогр.: 13 назв.