Інтегральна мікроелектроніка. Конспект лекцій
Вантажиться...
Дата
2019
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
мікроелектроніка, наноелектроніка, мікромініатюризація, літографія
Бібліографічний опис
Свєчніков, Г. С. Інтегральна мікроелектроніка. Конспект лекцій [Електронний ресурс] : навчальний посібник для здобувачів ступеня магістра за освітньою програмою «Мікро- та наноелектроніка» / Г. С. Свєчніков, Ю. В. Діденко ; КПІ ім. Ігоря Сікорського. – Електронні текстові дані (1 файл: 16,17 Мбайт). – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2019. – 454 с. – Назва з екрана.