Мікромеханічні терморезисторні перетворювачі

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.advisorБорисов, Олександр Васильович
dc.contributor.authorЛупина, Борис Іванович
dc.contributor.degreedepartmentМікроелектронікиuk
dc.contributor.degreefacultyЕлектронікиuk
dc.contributor.degreegrantorНаціональний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського»uk
dc.date.accessioned2017-03-27T13:41:29Z
dc.date.available2017-03-27T13:41:29Z
dc.date.issued2017
dc.description.abstractukДисертаційна робота присвячена розробці терморезисторних первинних перетворювачів (ТРПП) за технологією мікроелектромеханічних систем на кремнії та встановленню фізико-технічних і конструктивних закономірностей зв’язку їх електричних і температурних характеристик із параметрами оточуючого середовища. Виконано моделювання місткових і мембранних термоізольованих структур в каналі прямокутного перетину на основі спільного розв’язку рівнянь теплопровідності для місткового перетворювача і середовища в каналі. Встановлено аналітичну залежність теплового опору термоізольованої структури від теплопровідності середовища, форми і геометричних розмірів теплогенеруючого елементу і каналу. Доведено функціональні і конструктивно-топологічні переваги багатоелементних ТРПП над одноелементними аналогами на прикладі калориметричного ТРПП лінійної швидкості рідини та газу. Аналітично встановлено, що діапазон монотонної лінійної залежності вихідної характеристики триелементного калориметричного ТРПП є конструкттивно керованим, а чутливість занурювального перетворювача шириною 40 мкм в каналі висотою 300 мкм в 2,5 рази вища за чутливість одноелементного аналога за величини лінійної швидкості повітря в каналі 0,1 м/с. Виявлено закономірності впливу зміни температури вимірюваного середовища на характеристику перетворення теплогенеруючого елементу в самозбалансованих місткових схемах, розроблено новий спосіб компенсації температурної чутливості за методом модуляції струму живлення. Розроблено способи виготовлення первинних перетворювачів, способи вимірювання абсолютного тиску та густини газів за методикою динамічного нагрівання. Проведено апробацію перетворювачів лінійної швидкості (об’ємних витрат) газу в приладах діагностики функції зовнішнього дихання людини з виконанням комплексу медико-технічних вимог до сучасних спірометрів.uk
dc.format.page169 с.uk
dc.identifier.citationЛупина, Б. І. Мікромеханічні терморезисторні перетворювачі : дис. … канд. техн. наук : 05.27.01 – твердотільна електроніка / Лупина Борис Іванович. – Київ, 2017. – 169 с.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/19108
dc.language.isoukuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.status.pubpublisheduk
dc.subjectтерморезисторний первинний перетворювачuk
dc.subjectмікроелектромеханічна системаuk
dc.subjectтепловий опірuk
dc.subjectкалориметричний методuk
dc.subjectMEMS thermal transduceren
dc.subjectself-heatingen
dc.subjectthermal feedbacken
dc.subjectcalorimetric sensoren
dc.subjectтерморезисторный первичный преобразовательru
dc.subjectмикроэлектромеханическая системаru
dc.subjectтепловое сопротивлениеru
dc.subjectкалориметрический методru
dc.subject.udc621.382:[621.3.049.77:621.316.825](043.3)uk
dc.titleМікромеханічні терморезисторні перетворювачіuk
dc.typeThesis Doctoraluk
thesis.degree.levelcandidateuk
thesis.degree.nameкандидат технічних наукuk
thesis.degree.speciality05.27.01 – твердотільна електронікаuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Lupyna_diss.pdf
Розмір:
4.23 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
7.8 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Дисертації (МЕ)
Дисертації (вільний доступ)