Aluminum oxynitride dielectric films prepared by reactive sputtering

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorBorisova, A.
dc.contributor.authorMachulyansky, A.
dc.contributor.authorRodionov, M.
dc.contributor.authorSmilyk, V.
dc.contributor.authorYakimenko, Y.
dc.contributor.authorБорисова, Олександра Володимирівна
dc.contributor.authorМачулянський, О. В.
dc.contributor.authorРодіонов, М. К.
dc.contributor.authorСмілик, В.
dc.contributor.authorЯкименко, Ю. І.
dc.contributor.authorБорисова, Александра Владимировна
dc.contributor.authorМачулянский, А. В.
dc.contributor.authorРодионов, М. К.
dc.contributor.authorСмилык, В.
dc.contributor.authorЯкименко, Ю. И.
dc.date.accessioned2016-09-14T15:44:05Z
dc.date.available2016-09-14T15:44:05Z
dc.date.issued2015
dc.description.abstractenInfluence of technological modes of synthesis of aluminum oxynitride films by a method of magnetron reactive sputtering on their physical and chemical parameters is probed. Studied by IR spectroscopy and Auger electron microscopy and elemental, phase and structural composition of the synthesized films. Features of spectral and electrophysical parameters of films are discussed. Chemical stability of films is probed. Recommendations about modes of synthesis of films of electrophysical parameters of films providing optimization on the given their operational properties are received.uk
dc.description.abstractruИзучено влияние на электрофизические и химические свойства диэлектрических пленок оксинитрида алюминия технологических режимов их формирования методом реактивного магнетронного распыления. Исследован методом ИК – спектроскопии, ОЖЕ – спектроскопии и электронной микроскопии элементный и структурный состав синтезированных пленок. Обсуждены особенности спектральных и электрофизических параметров (удельного сопротивления, электрической прочности, термической стабильности и химической устойчивости) пленок. Даны рекомендации режимов синтеза пленок, обеспечивающих оптимизацию электрофизических параметров пленок на заданные эксплуатационные свойства.uk
dc.description.abstractukВивчено вплив на електрофізичні та хімічні властивочті діелектричних плівок оксинітриду алюмінію технологічних режимів їхнього формування методом реактивного магнетронного напилення. Досліджено методом ІЧ-спектроскопії, ОЖЕ-спектроскопії та електронної мікроскопії електронний та структурний склад синтезованих плівок. Обговорено властивості спектральних та електрофізичних параметрів (питомого опору, електричної міцності, термічної стабільності та хімічної стійкості) плівок. Надано рекомендації щодо режимів синтезу плівок з метою забезпечення оптимізації електрофізичних параметрів на задані експлуатаційні властивості.uk
dc.format.pagerangeC. 31-36uk
dc.identifier.citationAluminum oxynitride dielectric films prepared by reactive sputtering / A. Borisova, A. Machulyansky, M. Rodionov, V. Smilyk, Y. Yakimenko // Електроніка та зв'язок : науково-технічний журнал. – 2015. – Т. 20, № 3(86). – С. 31–36. – Бібліогр.: 13 назв.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/17562
dc.language.isoenuk
dc.publisherНТУУ «КПІ»uk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.source.nameЕлектроніка та зв'язок : науково-технічний журналuk
dc.status.pubpublisheduk
dc.subjectплівки оксинітриду алюмініюuk
dc.subjectмагнетроне реактивне розпиленняuk
dc.subjectелектрична міцністьuk
dc.subjectхімічна стійкістьuk
dc.subjectтермічна стабільністьuk
dc.subjectaluminum oxynitride filmen
dc.subjectmagnetron reactive sputteringen
dc.subjectdielectric strengthen
dc.subjectchemical resistanceen
dc.subjectthermal stabilityen
dc.subjectпленки оксинитрида алюминияru
dc.subjectмагнетронное реактивное распылениеru
dc.subjectэлектрическая прочностьru
dc.subjectхимическая устойчивостьru
dc.subjectтермическая стабильностьru
dc.subject.udc621.318uk
dc.titleAluminum oxynitride dielectric films prepared by reactive sputteringuk
dc.title.alternativeДіелектричні плівки оксинітриду алюмінію отримані реактивним розпиленнямuk
dc.title.alternativeДиэлектрические пленки оксинитрида алюминия полученные реактивным распылениемuk
dc.typeArticleuk
thesis.degree.level-uk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
EiS2015-3_04_Machulyanskiy.pdf
Розмір:
258.96 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
7.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Електроніка та зв'язок: науково-технічний журнал, Т. 20, № 3(86)