Aluminum oxynitride dielectric films prepared by reactive sputtering

Вантажиться...
Ескіз

Дата

2015

Автори

Borisova, A.
Machulyansky, A.
Rodionov, M.
Smilyk, V.
Yakimenko, Y.
Борисова, Олександра Володимирівна
Мачулянський, О. В.
Родіонов, М. К.
Смілик, В.
Якименко, Ю. І.

Науковий керівник

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

НТУУ «КПІ»

Анотація

Опис

Ключові слова

плівки оксинітриду алюмінію, магнетроне реактивне розпилення, електрична міцність, хімічна стійкість, термічна стабільність, aluminum oxynitride film, magnetron reactive sputtering, dielectric strength, chemical resistance, thermal stability, пленки оксинитрида алюминия, магнетронное реактивное распыление, электрическая прочность, химическая устойчивость, термическая стабильность

Бібліографічний опис

Aluminum oxynitride dielectric films prepared by reactive sputtering / A. Borisova, A. Machulyansky, M. Rodionov, V. Smilyk, Y. Yakimenko // Електроніка та зв'язок : науково-технічний журнал. – 2015. – Т. 20, № 3(86). – С. 31–36. – Бібліогр.: 13 назв.

DOI