Aluminum oxynitride dielectric films prepared by reactive sputtering
Вантажиться...
Дата
2015
Автори
Borisova, A.
Machulyansky, A.
Rodionov, M.
Smilyk, V.
Yakimenko, Y.
Борисова, Олександра Володимирівна
Мачулянський, О. В.
Родіонов, М. К.
Смілик, В.
Якименко, Ю. І.
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТУУ «КПІ»
Анотація
Опис
Ключові слова
плівки оксинітриду алюмінію, магнетроне реактивне розпилення, електрична міцність, хімічна стійкість, термічна стабільність, aluminum oxynitride film, magnetron reactive sputtering, dielectric strength, chemical resistance, thermal stability, пленки оксинитрида алюминия, магнетронное реактивное распыление, электрическая прочность, химическая устойчивость, термическая стабильность
Бібліографічний опис
Aluminum oxynitride dielectric films prepared by reactive sputtering / A. Borisova, A. Machulyansky, M. Rodionov, V. Smilyk, Y. Yakimenko // Електроніка та зв'язок : науково-технічний журнал. – 2015. – Т. 20, № 3(86). – С. 31–36. – Бібліогр.: 13 назв.