Разработка устройств и систем выращивания слитков арсенида галлия для изделий микро, нано электроники и фотовольтаики
Вантажиться...
Файли
Дата
2013
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТУУ "КПІ"
Анотація
Опис
Ключові слова
арсенід галію, злиток, пластина, температурний градієнт, діаметр, внутрішні напруження, gallium arsenide, ingot, wafer, the temperature gradient, the diameter, the internal stresses, арсенид галлия, слиток, температурный градиент, диаметр, внутренние напряжения
Бібліографічний опис
Оксанич А.П. Разработка устройств и систем выращивания слитков арсенида галлия для изделий микро, нано электроники и фотовольтаики / Оксанич А.П., Притчин С.Э., Тербан В.А. // Вісник НТУУ «КПІ». Радіотехніка, радіоапаратобудування : збірник наукових праць. – 2013. – № 54. – С. 136–143. – Бібліогр.: 7 назв.