Імпульсний розряд в схрещених полях для отримання покриттів з розгалуженою поверхнею

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.advisorКузьмичєв, Анатолій Іванович
dc.contributor.authorСидоренко, Сергій Борисович
dc.date.accessioned2021-04-11T11:46:29Z
dc.date.available2021-04-11T11:46:29Z
dc.date.issued2021
dc.description.abstractukДисертаційна робота присвячена отриманню покриттів з розгалуженою поверхнею при використанні імпульсного розряду в схрещених електромагнітних полях. Розглянуто вплив імпульсного режиму термоіонного осадження на властивості покриттів. Показано комплексний підхід до розробки технологічних імпульсних модуляторів, дослідження їх в складі системи генерації плазми та процесу транспортування речовини, а також дослідженні утворених покриттів.uk
dc.format.page226 с.uk
dc.identifier.citationСидоренко, С. Б. Імпульсний розряд в схрещених полях для отримання покриттів з розгалуженою поверхнею : дис. … канд. техн. наук. : 05.27.02 – вакуумна, плазмова та квантова електроніка / Сидоренко Сергій Борисович. – Київ, 2021. – 226 с.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/40514
dc.language.isoukuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.subjectпокриття з розгалуженою поверхнеюuk
dc.subjectімпульсний розряд в схрещених поляхuk
dc.subjectімпульсний модуляторuk
dc.subjectіонно-плазмове осадженняuk
dc.subjectтермоіонне осадженняuk
dc.subjectімпульсне магнетронне розпиленняuk
dc.subjectелектронно-променеве випаровуванняuk
dc.subjectпитома ємність конденсаторної фольгиuk
dc.subjectcoating with voluminous surfaceuk
dc.subjectpulse discharge in crossed fieldsuk
dc.subjectpulse modulatoruk
dc.subjection-assisted depositionuk
dc.subjectthermoionic depositionuk
dc.subjectpulsed magnetron sputteringuk
dc.subjectelectron-beam evaporationuk
dc.subjectspecific capacity of capacitor foiluk
dc.subjectпокрытие с развитой поверхностьюuk
dc.subjectимпульсный разряд в скрещённых поляхuk
dc.subjectимпульсный модуляторuk
dc.subjectионно-плазменное осаждениеuk
dc.subjectтермоионным осажденияuk
dc.subjectимпульсное магнетронного распыленияuk
dc.subjectэлектронно лучевое испарениеuk
dc.subjectудельная емкость конденсаторной фольгиuk
dc.subject.udc537.521, 537.525, 533.9.07, 621.38, 62-408.8uk
dc.titleІмпульсний розряд в схрещених полях для отримання покриттів з розгалуженою поверхнеюuk
dc.typeThesis Doctoraluk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Sydorenko_dys.pdf
Розмір:
6.6 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
9.01 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Дисертації (ЕПС)
Дисертації (вільний доступ)