Метод мультихвильової гетеродинної інтерферометpії для вимірювання товщини нанорозмірних шарів у процесі їх напилення

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorЛендєл, В. В.
dc.contributor.authorСтепахно, І. В.
dc.contributor.authorЯровой, Л. К.
dc.date.accessioned2022-07-26T09:43:01Z
dc.date.available2022-07-26T09:43:01Z
dc.date.issued2022
dc.format.pagerangeС. 125-128uk
dc.identifier.citationЛендєл, В. В. Метод мультихвильової гетеродинної інтерферометpії для вимірювання товщини нанорозмірних шарів у процесі їх напилення / Лендєл, В. В., Степахно, І. В., Яровой, Л. К. // XХI Міжнародна науково-технічна конференція “Приладобудування: стан і перспективи”, 17–18 травня 2022 р., Київ, Україна : збірник матеріалів конференції. – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2022. – С. 125-128. – Бібліогр.: 7 назв.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/49343
dc.language.isoukuk
dc.publisherКПІ ім. Ігоря Сікорськогоuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.sourceXХI Міжнародна науково-технічна конференція “Приладобудування: стан і перспективи”, 17–18 травня 2022 р., Київ, Україна : збірник матеріалів конференціїuk
dc.subjectінтерферометріяuk
dc.subjectрефлектометріяuk
dc.subjectвимірювання товщин плівокuk
dc.subject.udc534 +531.7+53.082uk
dc.titleМетод мультихвильової гетеродинної інтерферометpії для вимірювання товщини нанорозмірних шарів у процесі їх напиленняuk
dc.typeArticleuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
PSP-XXI_2022_p125-128.pdf
Розмір:
288.97 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Секція 5. Аналітичне та екологічне приладобудування