Метод мультихвильової гетеродинної інтерферометpії для вимірювання товщини нанорозмірних шарів у процесі їх напилення
Вантажиться...
Дата
2022
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
інтерферометрія, рефлектометрія, вимірювання товщин плівок
Бібліографічний опис
Лендєл, В. В. Метод мультихвильової гетеродинної інтерферометpії для вимірювання товщини нанорозмірних шарів у процесі їх напилення / Лендєл, В. В., Степахно, І. В., Яровой, Л. К. // XХI Міжнародна науково-технічна конференція “Приладобудування: стан і перспективи”, 17–18 травня 2022 р., Київ, Україна : збірник матеріалів конференції. – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2022. – С. 125-128. – Бібліогр.: 7 назв.