Вплив термічної обробки на фазоутворення в багатошаровій плівковій композиції [Ta(3,3 нм)/Si(6,6 нм)]45/ Si (001) та її оптичні властивості

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorМакогон, Ю. М.
dc.contributor.authorКудрявцев, Ю. В.
dc.contributor.authorПавлова, О. П.
dc.contributor.authorСидоренко, С. І.
dc.contributor.authorВербицька, Т. І.
dc.date.accessioned2020-09-07T12:06:49Z
dc.date.available2020-09-07T12:06:49Z
dc.date.issued2009
dc.description.abstractenEmploying the methods of spectroscopic ellipsometry, X-ray phase analysis and resistometry, we study the influence of heat treatment on the phase formation in periodic (45 bilayers) [Ta(3,3 нм)/ Si(6,6 нм)]45/ Si(001) multilayered film composition (MFC) with middle volume composition of TaSi2. Through experiments performed, we determine the regularities of change of the optical properties and energetic spectra of electrons as a result of translation symmetry loss in tantalum disilicide.uk
dc.description.abstractruМетодами спектральной эллипсометрии, рентгеноструктурного фазового анализа, резистометрии исследовано влияние термической обработки на фазообразование в периодической (45 бислоев) многослойной пленочной композиции (МПК) [Ta(3,3 нм)/Si(6,6 нм)]45/Si(001) со средним по объему составом TaSi2. Установлены закономерности изменения оптических свойств и энергетического спектра электронов в результате потери трансляционной симметрии в дисилициде тантала.uk
dc.description.abstractukМетодами спектральної еліпсометрії, рентгеноструктурного фазового аналізу і резистометрії досліджено вплив термічної обробки на фазоутворення в періодичній (45 бішарів) багатошаровій плівковій композиції (БПК) [Ta(3,3 нм)/Si(6,6 нм)]45/Si(001) з середнім за об’ємом складом TaSi2. Встановлено закономірності змін оптичних властивостей і енергетичного спектра електронів внаслідок втрати трансляційної симетрії в дисиліциді танталу.uk
dc.format.pagerangeС. 35–41uk
dc.identifier.citationВплив термічної обробки на фазоутворення в багатошаровій плівковій композиції [Ta(3,3 нм)/Si(6,6 нм)]45/ Si (001) та її оптичні властивості / Ю. М. Макогон, Ю. В. Кудрявцев, О. П. Павлова, С. І. Сидоренко, Т. І. Вербицька // Наукові вісті НТУУ «КПІ» : науково-технічний журнал. – 2009. – № 3(65). – С. 35–41. – Бібліогр.: 20 назв.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/36016
dc.language.isoukuk
dc.publisherНТУУ «КПІ»uk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.sourceНаукові вісті НТУУ «КПІ» : науково-технічний журнал, 2009, № 3(65)uk
dc.titleВплив термічної обробки на фазоутворення в багатошаровій плівковій композиції [Ta(3,3 нм)/Si(6,6 нм)]45/ Si (001) та її оптичні властивостіuk
dc.typeArticleuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
2009-3-5.pdf
Розмір:
385.17 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
9.06 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Наукові вісті НТУУ «КПІ»: науково-технічний журнал, № 3(65)