(КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2022-12) Гуйжун; Орлов, Андрій Костянтинович
Об’єкт дослідження: Нанорозмірні плівкові композиції Ni(30 нм)/Ti(30 нм) та [Ni(15 нм)/Ti(15 нм)]x2, осаджені методом магнетронного розпорошення на термічно-окиснені підкладинки монокристалічного кремнію SiO2(100 нм)/Si(001).
Предмет дослідження: процеси дифузійного структуроутворення та закономірності фазоутворення в системі Ni-Ti для різної кількості внутрішніх інтерфейсів Ni(30нм)/Ti(30нм)/Si та [Ni(15нм)/Ti(15нм)]x2/Si.
Мета роботи: дослідження впливу кількості границь розділу тонкоплівкової системи Ni/Ti на структурно-фазові перетворення та розвиток дифузійних процесів за умов відпалу в температурному інтервалі 200 - 600 ∘С в вакуумі (10-3 Па).
Методи дослідження: рентгеноструктурний фазовий аналіз, мас-спектрометрія вторинних іонів.
Результати досліджень та їх новизна: збільшення кількості внутрішніх границь розділу із збереженням загальної товщини системи призводить до інтенсифікації дифузійних процесів та структурних змін на ранніх стадіях термічної обробки нанорозмірних плівкових композицій.
Сфера застосування: інформаційні технології, мікроелектромеханічні системи.