Вплив границь розділу на термічно-індуковані твердотільні реакції в тонкоплівкових композиціях Ni/Ti
Вантажиться...
Дата
2022-12
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Об’єкт дослідження: Нанорозмірні плівкові композиції Ni(30 нм)/Ti(30 нм) та [Ni(15 нм)/Ti(15 нм)]x2, осаджені методом магнетронного розпорошення на термічно-окиснені підкладинки монокристалічного кремнію SiO2(100 нм)/Si(001).
Предмет дослідження: процеси дифузійного структуроутворення та закономірності фазоутворення в системі Ni-Ti для різної кількості внутрішніх інтерфейсів Ni(30нм)/Ti(30нм)/Si та [Ni(15нм)/Ti(15нм)]x2/Si.
Мета роботи: дослідження впливу кількості границь розділу тонкоплівкової системи Ni/Ti на структурно-фазові перетворення та розвиток дифузійних процесів за умов відпалу в температурному інтервалі 200 - 600 ∘С в вакуумі (10-3 Па).
Методи дослідження: рентгеноструктурний фазовий аналіз, мас-спектрометрія вторинних іонів.
Результати досліджень та їх новизна: збільшення кількості внутрішніх границь розділу із збереженням загальної товщини системи призводить до інтенсифікації дифузійних процесів та структурних змін на ранніх стадіях термічної обробки нанорозмірних плівкових композицій.
Сфера застосування: інформаційні технології, мікроелектромеханічні системи.
Опис
Ключові слова
сплави з пам'яттю форми, тонкі плівки NiTiI, магнетронне розпилення, термообробка, фаза, shape memory alloys, NiTi thin films, magnetron sputting, heat treatment, phase
Бібліографічний опис
Гуйжун. Вплив границь розділу на термічно-індуковані твердотільні реакції в тонкоплівкових композиціях Ni/Ti : магістерська дис. : 132 Матеріалознавство / Гуйжун. – Київ, 2022. – 81 с.