(КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2020) Бердник, Кирило Юрійович; Верцанова, Олена Вікторівна
Метою роботи є аналіз галузі інспекції інтегральних схем, порівняння алгоритмів аналізу зображень, розгляд методів захоплення зображення, доцільних для поставленої задачі.
У цій роботі будуть розглянуті методи виявлення дефектів, що застосовуються у візуальному контролі якості інтегральних схем, опис виникнення дефектів, можливі наслідки для роботи схеми, методи захоплення та отримання зображення світлової мікроскопії, їх порівняння, а також опис застосування конкретної техніки та програмного забезпечення для виявлення похибки металізації.