(КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2022) Мамчур, Я. Д.; Iванова, В. В.; Гураль, Т. I.; Монастирський, Г. Є.
Iнтерферометрiя бiлого свiтла є ефективним способом безконтактного визначення рельєфу поверхнi зразка. Завдяки
поєднанню традицiйних методiв iнтерферометрiї та новiтнього програмного забезпечення з її допомогою можна
отримати зображення з роздiльною здатнiстю до 1 ангстрема у висотi та десятих мiкрометра в горизонтальнiй
площинi. Саме тому з використанням iнтерферометрiї бiлого свiтла був дослiджений профiль поверхнi металевих
дифракцiйних ґраток. Були визначенi сталi ґраток, глибина штрихiв та загальна форма профiлю. Також було
створено 3D зображення рельєфу зразкiв.