Магістерські роботи (ФМ ІФФ)

Постійне посилання зібрання

https://ela.kpi.ua/handle/123456789/21820

Переглянути

Перегляд Магістерські роботи (ФМ ІФФ) за Автор "Грищенко, Вікторія Андріївна"

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
  • Ескіз
    ДокументВідкритий доступ
    Вплив йонного опромінення на структурно-фазові перетворення в тонких плівках Cu/Cr, Ni/Cr, Ni/Cu/Cr при термічному відпалі
    (КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2020-05) Грищенко, Вікторія Андріївна; Волошко, Світлана Михайлівна
    Магістерська дисертація: 81 сторінка, 41 рисунків, 12 таблиць, 38 літературних джерел. Об’єкт досліджень:структурно-фазові перетворення в наношарових композиціях Cu/Cr, Ni/Cr, Ni/Cu/Cr за умов вакуумного термічного відпалу та з додатковою йонно-плазмовою обробкою. Мета роботи: дослідження особливостей впливу попередньої йонно-плазмової обробки на структурно-фазові перетворення у тонких плівках Cu/Cr, Ni/Cr, Ni/Cu/Crза умов термічного відпалу. Методи дослідження: мас-спектрометрія вторинних йонів, трансмісійна електронна мікроскопія, in-situ високоенергетична електронна дифракція. Досліджено особливості формування структури та фазового складу систем Cu/Cr, Ni/Cr та Ni/Cu/Cr при відпалі у вакуумі у широкому температурному інтервалі. Тонкоплівкові композиції були одержані шляхом термічного випаровування у вакуумі і, в подальшому, піддавалися йонно-плазмовій та термічній обробці до температур 690 °C. Після обробки плівки досліджено методами мас-спектрометрії вторинних йонів, трансмісійною електронною мікроскопією, in-situ високоенергетичною електронною дифракцією. Зафіксовано розвиток окисно-відновних процесів, які ефективно контролюються шляхом використання додаткового плазмового оброблення плівок. Йонний низькоенергетичний вплив стабілізує структуру досліджуваних систем шляхом гальмування процесів рекристалізації.