Вплив йонного опромінення на структурно-фазові перетворення в тонких плівках Cu/Cr, Ni/Cr, Ni/Cu/Cr при термічному відпалі
Вантажиться...
Дата
2020-05
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Магістерська дисертація: 81 сторінка, 41 рисунків, 12 таблиць, 38 літературних джерел.
Об’єкт досліджень:структурно-фазові перетворення в наношарових композиціях Cu/Cr, Ni/Cr, Ni/Cu/Cr за умов вакуумного термічного відпалу та з додатковою йонно-плазмовою обробкою.
Мета роботи: дослідження особливостей впливу попередньої йонно-плазмової обробки на структурно-фазові перетворення у тонких плівках Cu/Cr, Ni/Cr, Ni/Cu/Crза умов термічного відпалу.
Методи дослідження: мас-спектрометрія вторинних йонів, трансмісійна електронна мікроскопія, in-situ високоенергетична електронна дифракція.
Досліджено особливості формування структури та фазового складу систем Cu/Cr, Ni/Cr та Ni/Cu/Cr при відпалі у вакуумі у широкому температурному інтервалі.
Тонкоплівкові композиції були одержані шляхом термічного випаровування у вакуумі і, в подальшому, піддавалися йонно-плазмовій та термічній обробці до температур 690 °C. Після обробки плівки досліджено методами мас-спектрометрії вторинних йонів, трансмісійною електронною мікроскопією, in-situ високоенергетичною електронною дифракцією.
Зафіксовано розвиток окисно-відновних процесів, які ефективно контролюються шляхом використання додаткового плазмового оброблення плівок. Йонний низькоенергетичний вплив стабілізує структуру досліджуваних систем шляхом гальмування процесів рекристалізації.
Опис
Ключові слова
тонкоплівкова композиція, структурно-фазові перетворення, термічний відпал, йонна обробка, електронна мікроскопія, thin film composition, structural-phase transformations, thermal annealing, ion action, electronic microscopy
Бібліографічний опис
Грищенко, В. А. Вплив йонного опромінення на структурно-фазові перетворення в тонких плівках Cu/Cr, Ni/Cr, Ni/Cu/Cr при термічному відпалі : магістерська дис. : 132 Матеріалознавство / Грищенко Вікторія Андріївна. – Київ, 2020. – 81 с.