(КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2023) Смирнов, Ігор Володимирович; Чорний, Андрій Вячеславович
В даному посібнику викладено матеріали для виконання лабораторних робіт, в яких
приділено увагу вивченню обладнання та технологій для нанесення покриттів у
вакуумі, а також додатки з описами використовуваного в роботах вакуумного та
вимірювального обладнання і правилами охорони праці під час роботи на вакуумних
установках. Лабораторні роботи мають дослідницький характер, в кожній з них
наведено основні теоретичні положення, методика і порядок виконання робіт та
завдання для самостійної роботи.