(КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2021) Дідусь, Р. І.; Лапшуда, В. А.; Гондовська, А. С.; Ященко, О. В.
У статті розглянуто використання біополімерного матеріалу (наноцелюлози) як гнучкої підкладки
для осадження функціональних шарів електронних приладів. Плівки оксиду молібдену осаджувались на поверхню
наноцелюлози методом йонно-променевого розпилення в низькотемпературних режимах без наступного відпалу.
Було виміряно спектри оптичної прозорості отриманих зразків у вихідному та зігнутому станах та встановлено
вплив пружної деформації зразку з радіусом згину 5 мм на коефіцієнт оптичного пропускання в ультрафіолетовому,
видимому та інфрачервоному діапазонах спектру. При цьому було показано, що оптична прозорість вихідних зразків під час згину може зменшуватись на 12-15% порівняно з вихідним станом. Мінімальна величина впливу згину
на коефіцієнт оптичного пропускання (від 0,7 до 3,3%) спостерігається для плівок оксиду молібдену, синтезованих
за температури 50С. Одержані результати можуть бути використані при розробці гнучких електронних приладів
на основі оксиду молібдену.