Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://ela.kpi.ua/handle/123456789/13700
Title: Підвищення точності діагностування рельєфу та механічних характеристик нанорозмірних структур у приладобудуванні
Authors: Білокінь, Світлана Олександрівна
Advisors: Бондаренко, Максим Олексійович
Keywords: точність діагностування
кремнієвий зонд
атомно-силова мікроскопія
тонке покриття
нанорельєф
мікротвердість
точность диагностирования
кремниевый зонд
атомно- силовая микроскопия
тонкое покрытие
нанорельеф
микротвердость
exactness of diagnosticating
silicic probe
atomic-force microscopy
thin coverage
nanorelief
microhardness
Issue Date: 2014
Citation: Білокінь С. О. Підвищення точності діагностування рельєфу та механічних характеристик нанорозмірних структур у приладобудуванні : дис. ... канд. техн. наук. : 05.11.13 – прилади і методи контролю та визначення складу речовин / С. О. Білокінь. - Черкаси, 2014. - 178 л. + CD-ROM
URI: https://ela.kpi.ua/handle/123456789/13700
Appears in Collections:Дисертації (доступ у чит. залі № 6.6 НТБ)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Bilokin_diss.pdf
  Restricted Access
8.03 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.