Підвищення точності діагностування рельєфу та механічних характеристик нанорозмірних структур у приладобудуванні
Вантажиться...
Дата
2014
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Опис
Ключові слова
точність діагностування, кремнієвий зонд, атомно-силова мікроскопія, тонке покриття, нанорельєф, мікротвердість, точность диагностирования, кремниевый зонд, атомно- силовая микроскопия, тонкое покрытие, нанорельеф, микротвердость, exactness of diagnosticating, silicic probe, atomic-force microscopy, thin coverage, nanorelief, microhardness
Бібліографічний опис
Білокінь С. О. Підвищення точності діагностування рельєфу та механічних
характеристик нанорозмірних структур у приладобудуванні : дис. ... канд. техн. наук. : 05.11.13 – прилади і методи контролю та визначення складу речовин / С. О. Білокінь. - Черкаси, 2014. - 178 л. + CD-ROM