Aluminum oxynitride dielectric films prepared by reactive sputtering
Loading...
Date
2015
Advisor
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
НТУУ «КПІ»
Abstract
Description
Keywords
плівки оксинітриду алюмінію, магнетроне реактивне розпилення, електрична міцність, хімічна стійкість, термічна стабільність, aluminum oxynitride film, magnetron reactive sputtering, dielectric strength, chemical resistance, thermal stability, пленки оксинитрида алюминия, магнетронное реактивное распыление, электрическая прочность, химическая устойчивость, термическая стабильность
Citation
Aluminum oxynitride dielectric films prepared by reactive sputtering / A. Borisova, A. Machulyansky, M. Rodionov, V. Smilyk, Y. Yakimenko // Електроніка та зв'язок : науково-технічний журнал. – 2015. – Т. 20, № 3(86). – С. 31–36. – Бібліогр.: 13 назв.