Метод вимірювання НВЧ- параметрів матеріалів на основі тонкого діелектричного резонатора
Вантажиться...
Дата
2018
Автори
Браге, Ксенія Сергіївна
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
В даній роботі розглянуто питання загальних теоретичних відомостей з складених та тонких діелектричних резонаторів та методів вимірювання вимірювання НВЧ параметрів діелектричних матеріалів. Досліджено метод тонкого діелектричного резонатора та наведено результати експерементальних досліджень. При досліджені тонких діелектричних плівок виникають труднощі, тому що методи не забезпечують достатньої точності. При дослідженні метода тонких плівок результати показали, що при зменшенні товщини базового резонатора, збільшується точність. Тому метою роботи є адаптація методу складеного діелектричного резонатора для вимірювання параметрів тонких плівок.
Для досягнення поставленої мети необхідно було вирішити наступні задачі:
1. Проаналізувати існуючи методи вимірюваняя НВЧ – параметрів діелектричних матеріалів.
2. Проаналізувати властивості тонкого діелектричного резонатора (ТДР).
3. Запропонувати метод дослідження параметрів тонких плівок на основі ТДР.
4. Експерементально перевірити метод тонких плівок на основі ТДР.
Предметом і об’єктом даної робот є:
Об’єкт: тонкий діелектричний резонатор
Предмет: електродинамічні властивості тонкого діелектриного резонатора
Наукова новизна:
Теоретичне та експериментальне дослідження електро-динамічних властивостей ТДР показує, що на основі ТДР можна з достатньою точністю вимірювати НВЧ – властивості тонких діелектричних плівок.
Опис
Ключові слова
складений резонатор, діелектрична проникність, тангенс кута діелектричних втрат, тонкий діелектричний резонатор, НВЧ параметри, чутливість методу, olding of the resonator, dielectric penetration, tangent of the kut deelectrical waste, thin dielectric resonator, NVC parametres, sensitivity to the method
Бібліографічний опис
Браге, К. С. Метод вимірювання НВЧ- параметрів матеріалів на основі тонкого діелектричного резонатора : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Браге Ксенія Сергіївна. – Київ, 2018. – 94 с.