Технологические особенности изготовления СВЧ прибора с барьерами Шоттки

Вантажиться...
Ескіз

Дата

2018

Науковий керівник

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

КПИ им. Игоря Сикорского

Анотація

Опис

Полный текст доступен на сайте издания по подписке: http://radio.kpi.ua/article/view/S002134701802005X

Ключові слова

барьер Шоттки, СВЧ прибор, арсенид галлия, эпитаксиальная пленка, травление, режим термообработки, контакт

Бібліографічний опис

Дмитриев, В. С. Технологические особенности изготовления СВЧ прибора с барьерами Шоттки / В. С. Дмитриев, Л. Б. Дмитриева, Е. Я. Швец // Известия высших учебных заведений. Радиоэлектроника. – 2018. – Т. 61, № 2 (668). – C. 108–116. – Библиогр.: 28 назв.