Влияние анизотропии монокристаллического кремния на динамические характеристики микроэлектромеханических резонаторов
Вантажиться...
Дата
2014
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТУУ «КПИ»
Анотація
Опис
Полный текст доступен на сайте издания по подписке: http://radio.kpi.ua/article/view/S0021347014110065
Ключові слова
микроэлектромеханические резонатор, чувствительность колебательной системы, динамические характеристики, монокристаллический кремний
Бібліографічний опис
Киршина, И. А. Влияние анизотропии монокристаллического кремния на динамические характеристики микроэлектромеханических резонаторов / И. А. Киршина, П. А. Окин, О. М. Филонов // Известия высших учебных заведений. Радиоэлектроника. – 2014. – Т. 57, № 11 (629). – C. 51–56. – Библиогр.: 3 назв.