Технологія синтезу масиву кремнієвих нанониток методом метало-стимульованого хімічного травлення
Вантажиться...
Дата
2018
Автори
Куліш, Дмитро Олександрович
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Дипломну роботу викладено на 95 сторінках, вона містить 4 розділи, 36 ілюстрацій, 39 таблиць та 43 джерела в переліку посилань.
Об’єктом розгляду є наноструктури, утворені методом метало-стимульованого хімічного травлення на кремнієвих пластинах, для виготовлення сонячних елементів.
Метою роботи є синтез масиву нанониток методом метало-стимульованого хімічного травлення для використання в сонячних елементах.
У першому розділі наведені теоретичні відомості про фізичні основи синтезу кремнієвих наноструктур з високим аспектним відношенням для фотовольтаїки, методи синтезу кремнієвих наноструктур, фізичну сутність та кінетику процесу метало-стимульованого хімічного травлення кремнієвих пластин та фотоелектричні пристрої на основі кремнієвих нанониток.
У другому розділі представлено опис технології синтезу кремнієвих наноструктур методом метало-стимульованого хімічного травлення, дослідження впливу технологічних режимів на структурні особливості синтезованих наноструктур методами оптичної, електронної та атомно-силової мікроскопії та проаналізовано оптичні спектри відбивання від поверхні кремнієвих пластин, що містять синтезовані наноструктури.
У третьому розділі наведено технологічний маршрут виготовлення сонячних елементів на основі кремнієвих нанониток та вплив структурних особливостей синтезованих наноструктур на фотоелектричні характеристики приладів.
У четвертому розділі сформована ідея стартап-проекту, а також висвітлені конкурентні переваги та недоліки такого методу як цілісного продукту на ринку.
Опис
Ключові слова
метало-стимульоване хімічне травлення, нанонитки, наноструктури, сонячні елементи, metal-stimulated chemical etching, nanowires, nanost ructures, solar cells
Бібліографічний опис
Куліш, Д. О. Технологія синтезу масиву кремнієвих нанониток методом метало-стимульованого хімічного травлення : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Дмитро Олександрович Куліш. – Київ, 2018. – 95 с.