Сенсори токсичних випаровувань на пористому кремнії
Вантажиться...
Дата
2018
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Загальний обсяг роботи складає 89 сторінок, кількість ілюстрацій — 23, таблиць — 25, джерел за переліком посилань — 26.
Летючі органічні сполуки (ЛОС) в урбанізованих зонах становлять значну частку газоподібних забруднювачів, спричинених вихлопними газами, випаровуванням нафтопродуктів та утилізацією органічних розчинників. ЛОС приймають участь у багатьох фотохімічних реакціях, що ведуть до шкідливих або навіть токсичних продуктів. Проте обсяги виробництва, де використовуються ЛОС, з кожним роком не тільки не зменшуються, а навпаки – підвищуються. Зважаючи на таку ситуацію, все більше приділяють увагу сенсорним методам отримання інформації про якість повітря. Серед переваг хімічних датчиків: низька вартість виготовлення, простий дизайн та можливість мініатюризації, а також відносно хороші метрологічні параметри, такі як чутливість, селективність, діапазон вимірювань, лінійність або час відгуку.
Метою роботи є створення сенсорів токсичних випаровувань на пористому кремнії. Для досягнення поставленої мети потрібно вирішити наступні завдання:
- розглянути теорію абсорбції та основні властивості пористого кремнію для обґрунтування вибору цього матеріалу;
- вибрати ЛОС, реакція сенсора на які буде досліджуватись, та обґрунтувати вибір;
- розглянути переваги та недоліки різних видів хімічних датчиків для вимірювання ЛОС;
- розробити сенсори токсичних випаровувань на пористому кремнії та визначити їх чутливість;
- провести кореляцію чутливості сенсорів з морфологією їх поверхні.
Об’єктом дослідження є сенсори токсичних випаровувань на пористому кремнії.
Предметом дослідження є вплив парів газів на електричні властивості сенсорів.
У роботі були використані наступні методи дослідження:
- вимірювання вольт-амперних характеристик зразків сенсорів;
- зняття залежностей струму від часу зразків сенсорів;
- вивчення морфології зразків сенсорів за допомогою растрової електронної мікроскопії.
Наукова новизна полягаю у кореляції чутливості зразків сенсорів з морфологією поверхні. Практичне значення одержаних результатів – розробка сенсорів токсичних випаровувань з певною чутливістю та селективністю в залежності від морфології поверхні.
Опис
Ключові слова
пористий кремній, датчик газу, леткі органічні сполуки, хеморезистор, адсорбція, porous silicon, gas sensor, volatile organic compounds, chemoresistor, adsorption
Бібліографічний опис
Тимошенко, О. І. Сенсори токсичних випаровувань на пористому кремнії : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Олексій Ігорович Тимошенко. - Київ, 2018. - 87 с.