Фотодіоди ІЧ-діапазона на основі монокристала InSb
Вантажиться...
Дата
2019-12
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Пояснювальна записка до дипломної роботи містить: 92 сторінок,
28 таблиць, 16 рисунків, 33 бібліографічних найменування.
У цій роботі досліджено та впроваджено дослідницьку роботу щодо утворення фотодіодів на основі монокристалів InSb шляхом іонної імплантації.
Технічний шлях утворення фотодіодів на основі монокристала InSb шляхом імплантації іонами, тобто апаратом, в якому виконується процес формування області pn-з’єднання, тобто підготовка пластини початкового кристала антимоніду індію, імплантація іона, одиночного InSb після імплантації Кристалічний допінг. Також було розглянуто моделювання та редагування оптимальних технічних шляхів для цих процесів з подальшим аналізом та порівнянням готового зразка та його характеристик.
Опис
Ключові слова
іонна імплантація, монокристал, антимонід індія, фотодіод
Бібліографічний опис
Шимко, Г. Ю. Фотодіоди ІЧ-діапазона на основі монокристала InSb : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Шимко Гліб Юрійович. – Київ, 2019. – 90 с.