Влияние методов получения тонких пленок оксида церия на вольт-фарадные характеристики МДП-структур
Вантажиться...
Дата
2019
Автори
Королевич, Любомир Николаевич
Борисов, Александр Васильевич
Максимчук, Наталья Владимировна
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
тонкие пленки, оксид церия, МДП-структура, вольт-фарадные характеристики (ВФХ), система зарядов, эффективный заряд, поверхностный потенциал, тонкі плівки, оксид церію, МДН-структура, вольт-фарадні характеристики (ВФХ), система зарядів, ефективний заряд, thin films, cerium oxide, MIS-structure, capacitance-voltage characteristics (CV characteristics), charge system, effective charge
Бібліографічний опис
Королевич, Л. Н. Влияние методов получения тонких пленок оксида церия на вольт-фарадные характеристики МДП-структур / Королевич Л. Н., Борисов А. В., Максимчук Н. В. // Мікросистеми, Електроніка та Акустика : науково-технічний журнал. – 2019. – Т. 24, № 3(110). – С. 13–19. – Бібліогр.: 9 назв.