Перспективи застосування матриці зондів на єдиній основі для атомно-силового мікроскопу
Вантажиться...
Дата
2020-05
Автори
Андрієнко, О. І.
Бондаренко, М. О.
Бондаренко, Ю. Ю.
Антонюк, В. С.
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
атомно-силова мікроскопія, матриця зондів, інструментальний мікроскоп, точне приладобудування
Бібліографічний опис
Перспективи застосування матриці зондів на єдиній основі для атомно-силового мікроскопу / Андрієнко О. І., Бондаренко М. О., Бондаренко Ю. Ю., Антонюк В. С. // XІХ Міжнародна науково-технічна конференція «Приладобудування: стан і перспективи», 13-14 травня 2020 р., Київ, Україна : збірник матеріалів конференції. – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2020. – С. 36–37. – Бібліогр.: 2 назви.