Перспективи застосування матриці зондів на єдиній основі для атомно-силового мікроскопу
Loading...
Date
2020-05
Advisor
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Abstract
Description
Keywords
атомно-силова мікроскопія, матриця зондів, інструментальний мікроскоп, точне приладобудування
Citation
Перспективи застосування матриці зондів на єдиній основі для атомно-силового мікроскопу / Андрієнко О. І., Бондаренко М. О., Бондаренко Ю. Ю., Антонюк В. С. // XІХ Міжнародна науково-технічна конференція «Приладобудування: стан і перспективи», 13-14 травня 2020 р., Київ, Україна : збірник матеріалів конференції. – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2020. – С. 36–37. – Бібліогр.: 2 назви.