Окисно-відновні процеси в багатошаровій системі Ni/Cu/Cr(V) внаслідок йонного бомбардування
Вантажиться...
Дата
2020-05
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Магістерська дисертація: 92 c., 29 рис., 19 табл., 39 джерел.
Об’єкт дослідження – нанорозмірні плівкові системи Ni/Cu/Cr(V)/Si(100).
Мета роботи – дослідження окисно-відновних процесів у багатошаровій системі Ni/Cu/Cr(V) внаслідок низькоенергетичного йонного бомбардування з використанням комплексу спектральних методів.
Методи дослідження: плазмон на спектроскопія, Оже-електронна спектроскопія, мас-спектрометрія вторинних йонів, скануюча електронна мікроскопія, комп’ютерне моделювання.
Модифікацію поверхні та інтерфейсів, спричинену низькоенергетичною йонною обробкою, досліджено з використанням комплексу структурних та спектральних методів. Визначено режими йонного бомбардування, за яких відбувається зменшення кисню в об’ємі нанорозмірних плівок за рахунок відновних процесів. Виявлені зміни товщини шарів пов’язуються з ефектом «дальнодії». Очищення плівок від домішок дозволяє зменшити процеси окиснення за умов тривалої витримки на повітрі та запобігти утворенню дефектів. Комп’ютерне моделювання процесу йонного бомбардування металевої поверхні методом Монте-Карло дозволило проаналізувати розподіл кількості вакансій та концентрації втілених йонів за глибиною плівки в залежності від енергії первинного пучка.
Робота виконана в рамках держбюджетної теми № 2101ф «Вплив йонного опромінення на структуру, абсорбційну здатність та корозійні властивості нанорозмірних металевих композицій» на замовлення МОН України. Результати роботи актуальні для багатьох галузей науки – мікро- та наноелектроніка, оптоелектроніка, нанотехнології, медична інженерія поверхні, гетерогенний каталіз, захисні покриття, сенсорні та тензорні датчики.
Опис
Ключові слова
дифузія, комп’ютерне моделювання, корозія, пасивація, поверхня, спектроскопія, тонкі плівки, computer simulation, corrosion, diffusion, passivation, spectroscopy, thin-film systems
Бібліографічний опис
Янчук, В. В. Окисно-відновні процеси в багатошаровій системі Ni/Cu/Cr(V) внаслідок йонного бомбардування : магістерська дис. : 132 Матеріалознавство / Янчук Віталій Володимирович. – Київ, 2020. – 92 с.