Вплив термічної обробки на фазоутворення в багатошаровій плівковій композиції [Ta(3,3 нм)/Si(6,6 нм)]45/ Si (001) та її оптичні властивості
Вантажиться...
Дата
2009
Автори
Макогон, Ю. М.
Кудрявцев, Ю. В.
Павлова, О. П.
Сидоренко, С. І.
Вербицька, Т. І.
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТУУ «КПІ»
Анотація
Опис
Ключові слова
Бібліографічний опис
Вплив термічної обробки на фазоутворення в багатошаровій плівковій композиції [Ta(3,3 нм)/Si(6,6 нм)]45/ Si (001) та її оптичні властивості / Ю. М. Макогон, Ю. В. Кудрявцев, О. П. Павлова, С. І. Сидоренко, Т. І. Вербицька // Наукові вісті НТУУ «КПІ» : науково-технічний журнал. – 2009. – № 3(65). – С. 35–41. – Бібліогр.: 20 назв.