Формування фазового складу і структури в нанорозмірних плівкових композиціях CoSb(1,82−2,51)(30 нм)/SiO2(100 нм)/Si(001) — функціональних елементах термоелектроніки
Вантажиться...
Дата
2010
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТУУ «КПІ»
Анотація
Опис
Ключові слова
Бібліографічний опис
Формування фазового складу і структури в нанорозмірних плівкових композиціях CoSb(1,82−2,51)(30 нм)/SiO2(100 нм)/Si(001) — функціональних елементах термоелектроніки / Ю. М. Макогон, Г. Беддіс, Т. І. Вербицька, М. Даніель, Р. А. Шкарбань // Наукові вісті НТУУ «КПІ» : науково-технічний журнал. – 2010. – № 5(73). – С. 97–101. – Бібліогр.: 8 назв.