Аналіз технології отримання вуглецевих плівок
Вантажиться...
Дата
2019-04-04
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Опис
Ключові слова
алмазоподібні вуглецеві плівки, магнетронне розпилення, лазерне розпилення, газотранспортні реакції, CVD
Бібліографічний опис
Зелінський, Д. В. Аналіз технології отримання вуглецевих плівок / Зелінський Д. В., Семікіна Т. В. // Перспективні напрямки сучасної електроніки : матеріали XІІІ науково-практичної конференції (4 квітня 2019 р., м. Київ) / КПІ ім. Ігоря Сікорського, ФЕЛ. – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2019. – С. 112-120. – Бібліогр.: 4 назви.