Оцінка можливостей застосування тасітронів в системах електроживлення імпульсних магнетронних розпилюючих систем
Loading...
Date
2017
Authors
Advisor
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Abstract
Description
Keywords
МРС, тасітрон, імпульсна МРС, імпульсний режим живлення, magnetron sputtering system, tacitron, impulse magnetron sputtering system, pulsed mode, МРС, таситрон, импульсная МРС, импульсный режим питания
Citation
Горбенко, О. А. Оцінка можливостей застосування тасітронів в системах електроживлення імпульсних магнетронних розпилюючих систем / Горбенко О. А. // Міжнародна науково-технічна конференція «Радіотехнічні поля, сигнали, апарати та системи» : матеріали конференції, 20-26 березня 2017 р., м. Київ, Україна / КПІ ім. Ігоря Сікорського, РТФ. – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2017. – С. 229–231. – Бібліогр.: 10 назв.