Оцінка можливостей застосування тасітронів в системах електроживлення імпульсних магнетронних розпилюючих систем

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorГорбенко, О. А.
dc.date.accessioned2021-01-11T12:05:21Z
dc.date.available2021-01-11T12:05:21Z
dc.date.issued2017
dc.description.abstractenWe considered the advantages of impulse magnetron sputtering system. Also, we proposed the use tacitron in pulsed mode impulse magnetron sputtering systems. .uk
dc.description.abstractruРассмотрено преимущество импульсной МРС. Предложено использование таситронов в системах импульсного питания МРС.uk
dc.description.abstractukРозглянуто переваги імпульсної МРС. Запропоновано використання тасітрону в системах імпульсного живлення МРС.uk
dc.format.pagerangeС. 229–231uk
dc.identifier.citationГорбенко, О. А. Оцінка можливостей застосування тасітронів в системах електроживлення імпульсних магнетронних розпилюючих систем / Горбенко О. А. // Міжнародна науково-технічна конференція «Радіотехнічні поля, сигнали, апарати та системи» : матеріали конференції, 20-26 березня 2017 р., м. Київ, Україна / КПІ ім. Ігоря Сікорського, РТФ. – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2017. – С. 229–231. – Бібліогр.: 10 назв.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/38598
dc.language.isoukuk
dc.publisherКПІ ім. Ігоря Сікорськогоuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.sourceМіжнародна науково-технічна конференція «Радіотехнічні поля, сигнали, апарати та системи» : матеріали конференції, 20-26 березня 2017 р., м. Київ, Українаuk
dc.subjectМРСuk
dc.subjectтасітронuk
dc.subjectімпульсна МРСuk
dc.subjectімпульсний режим живленняuk
dc.subjectmagnetron sputtering systemuk
dc.subjecttacitronuk
dc.subjectimpulse magnetron sputtering systemuk
dc.subjectpulsed modeuk
dc.subjectМРСuk
dc.subjectтаситронuk
dc.subjectимпульсная МРСuk
dc.subjectимпульсный режим питанияuk
dc.titleОцінка можливостей застосування тасітронів в системах електроживлення імпульсних магнетронних розпилюючих системuk
dc.typeArticleuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
RTPSAS_2017_s7_t01.pdf
Розмір:
507.9 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
8.98 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Секція 7. Мікроелектронна техніка. Функціональна та наноелектроніка