Підвищення якісних характеристик оптичних елементів комбінованою електронно-променевою обробкою
Loading...
Date
2021
Authors
Advisor
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
Description
Робота виконана на кафедрі фундаментальних дисциплін та прикладного
матеріалознавства Черкаського державного технологічного університету
Міністерства освіти і науки України
Keywords
тонкі плівки, якісні характеристики оптичних елементів, комбінована електронно-променева технологія, електронно-променева гармата, thin films, qualitative characteristics of optical elements, combined electron-beam technology, electron-beam gun, тонкие пленки, качественные характеристики оптических элементов, комбинированная электронно-лучевая технология, электронно-лучевая пушка
Citation
Коваленко, Ю. І. Підвищення якісних характеристик оптичних елементів комбінованою електронно-променевою обробкою : дис. … канд. техн. наук. : 05.03.07 – процеси фізико-технічної обробки / Коваленко Юрій Іванович. – Київ, 2021. – 181 с.