Процеси утворення мікрорельєфної поверхні та їх вплив на оптичні і фотоелектричні властивості напівпровідників
Вантажиться...
Дата
2021
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Роботу виконано на 81 сторінці, вона містить 3 розділи, 32 ілюстрації, 3 таблиці, і 28 джерел в переліку посилань.
Об’єктом дослідження є мікрорельєфна морфологія поверхні напівпровідників.
Предметом дослідження є оптичні і фотоелектричні характеристики анізотропно труєної поверхні напівпровідників.
Метою роботи є аналіз мікроморфології поверхні напівпровідників для вивчення її впливу на оптичні характеристики.
У першому розділі були вивчені основні положення формування мікрорельєфу напівпровідників IV групи і сполук AIII BV за допомогою анізотропного травлення.
У другому розділі розглянуто оптичні характеристики мікрорельєфу анізотропно труєних поверхонь.
У третьому розділі досліджено характеристики фотопровідності напівпровідників з мікрорельєфною поверхнею.
Опис
Ключові слова
мікрорельєф, анізотропне травлення, морфологія поверхні, microrelief, anisotropic etching, surface morphology
Бібліографічний опис
Самусь, О. С. Процеси утворення мікрорельєфної поверхні та їх вплив на оптичні і фотоелектричні властивості напівпровідників : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Самусь Олександр Станіславович. – Київ, 2021. – 81 с.