Процеси утворення мікрорельєфної поверхні та їх вплив на оптичні і фотоелектричні властивості напівпровідників

Вантажиться...
Ескіз

Дата

2021

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

КПІ ім. Ігоря Сікорського

Анотація

Роботу виконано на 81 сторінці, вона містить 3 розділи, 32 ілюстрації, 3 таблиці, і 28 джерел в переліку посилань. Об’єктом дослідження є мікрорельєфна морфологія поверхні напівпровідників. Предметом дослідження є оптичні і фотоелектричні характеристики анізотропно труєної поверхні напівпровідників. Метою роботи є аналіз мікроморфології поверхні напівпровідників для вивчення її впливу на оптичні характеристики. У першому розділі були вивчені основні положення формування мікрорельєфу напівпровідників IV групи і сполук AIII BV за допомогою анізотропного травлення. У другому розділі розглянуто оптичні характеристики мікрорельєфу анізотропно труєних поверхонь. У третьому розділі досліджено характеристики фотопровідності напівпровідників з мікрорельєфною поверхнею.

Опис

Ключові слова

мікрорельєф, анізотропне травлення, морфологія поверхні, microrelief, anisotropic etching, surface morphology

Бібліографічний опис

Самусь, О. С. Процеси утворення мікрорельєфної поверхні та їх вплив на оптичні і фотоелектричні властивості напівпровідників : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Самусь Олександр Станіславович. – Київ, 2021. – 81 с.

ORCID

DOI