Процеси утворення мікрорельєфної поверхні та їх вплив на оптичні і фотоелектричні властивості напівпровідників
Вантажиться...
Дата
2021
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
мікрорельєф, анізотропне травлення, морфологія поверхні, microrelief, anisotropic etching, surface morphology
Бібліографічний опис
Самусь, О. С. Процеси утворення мікрорельєфної поверхні та їх вплив на оптичні і фотоелектричні властивості напівпровідників : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Самусь Олександр Станіславович. – Київ, 2021. – 81 с.