Гіроскоп на базі МЕМС

Вантажиться...
Ескіз

Дата

2021-06

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

КПІ ім. Ігоря Сікорського

Анотація

Обсяг роботи складає 89 сторінок, кількість ілюстрацій – 42, таблиць – 26, джерел за переліком посилань – 39. Мета роботи полягала у встановлення конструктивних та технологічних напрямків розвитку гіроскопів МЕМС, комп’ютерне моделювання та дослідження динамічних характеристик важеля гіроскопу на підвісі. У роботі використовувалися типові методи дослідження: по-перше, науковий аналіз принципів дії гіроскопів МЕМС та їх конструкцій, методи мат-фізики та комп’ютерного моделювання та чисельного розрахунку параметрів гіроскопу та дослідження тривимірних моделей важелів консольного та гіроскопу з Г-підвісами на основі методів динаміки суцільних середовищ. Практичне значення одержаних результатів полягає в розроблені тривимірні моделі фізичних процесів у гіроскопі МЕМС з важелем на консольному підвісі, та важелем на Г-підвісах; встановлення залежності вигину важеля на консолі в електричному полі керуючого електрода; розрахована деформація важеля на консольному підвісі під дією обертання анкеру. Робота складається з 5 розділів. Зокрема, розглянуті гіроскопи мікроелектромеханічної системи (MEMС) (Розділ 1), механічні гіроскопи (розділ 2); оптичні гіроскопи (розділ 3), включаючи волоконно-оптичні гіроскопи (FOG), кільцеві лазерні гіроскопи (RLG) з зосередженням уваги на принципах роботи та різних удосконаленнях конструкцій з точки зору продуктивності. У розділі 4 виконано комп’ютерне моделювання та дослідження гіроскопу МЕМС з важелем на консольному підвісі і на Г-підвісі.

Опис

Ключові слова

гіроскопи МЕМС, чутливий елемент, важіль на консолі, комп’ютерна модель МЕМС, мікротехнологія, MEMS gyroscopes, sensing element, console lever, MEMS computer model, microtechnology

Бібліографічний опис

Хорольський, Є. В. Гіроскоп на базі МЕМС : магістерська дис. : 171 Електроніка / Хорольський Євген Віталійович. – Київ, 2021. – 89 с.

DOI