Особливості виникнення та розвитку імпульсного магнетронного розряду
Вантажиться...
Дата
2011
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТУУ «КПІ»
Анотація
Проведено дослідження імпульсного магнетронного розряду. Встановлено фізична картина процесу його виникнення і розвитку, а також фактори, що впливають на нього. Виявлено дві фази розвитку розряду - повільна слабкострумова і швидка Потужнострумові. Визначено шляхи досягнення високої стабільності часових параметрів виникнення і формування розряду. Отримані результати дозволяють вибирати оптимальні режими ланцюга підготовчому розряду і імпульсів генератора, що забезпечують стабільну роботу електронних приладів і пристроїв на імпульсно магнетронном розряді.
Опис
Ключові слова
імпульсний магнетронний розряд, виникнення розряду, вольтамперні характеристики, підготовчий розряд, нестабільність
Бібліографічний опис
Кузьмичєв, А. І. Особливості виникнення та розвитку імпульсного магнетронного розряду / Кузьмичєв А. І., Крижановський В .І., Дяченко С. М. // Электроника и связь : научно-технический журнал. Тематический выпуск «Электроника и нанотехнологии». – 2011. – №6(65). – С. 5-10. – Бібліогр.: 6 назв.