Особливості виникнення та розвитку імпульсного магнетронного розряду
Loading...
Date
2011
Advisor
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
НТУУ «КПІ»
Abstract
Проведено дослідження імпульсного магнетронного розряду. Встановлено фізична картина процесу його виникнення і розвитку, а також фактори, що впливають на нього. Виявлено дві фази розвитку розряду - повільна слабкострумова і швидка Потужнострумові. Визначено шляхи досягнення високої стабільності часових параметрів виникнення і формування розряду. Отримані результати дозволяють вибирати оптимальні режими ланцюга підготовчому розряду і імпульсів генератора, що забезпечують стабільну роботу електронних приладів і пристроїв на імпульсно магнетронном розряді.
Description
Keywords
імпульсний магнетронний розряд, виникнення розряду, вольтамперні характеристики, підготовчий розряд, нестабільність
Citation
Кузьмичєв, А. І. Особливості виникнення та розвитку імпульсного магнетронного розряду / Кузьмичєв А. І., Крижановський В .І., Дяченко С. М. // Электроника и связь : научно-технический журнал. Тематический выпуск «Электроника и нанотехнологии». – 2011. – №6(65). – С. 5-10. – Бібліогр.: 6 назв.