Визначення фізико-механічних характеристик поверхонь виробів наноелектроніки методом склерометрії
Вантажиться...
Файли
Дата
2013
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТУУ "КПІ"
Анотація
Опис
Ключові слова
атомно-силова мікроскопія, мікротвердість, зносостійкість, наноелектроніка, склерометрія, atomic-force microscopy, microhardness, wearproofness, nanoelectronics, sclerometry, атомно-силовая микроскопия, микротвердость, износостойкость, наноэлектроника, склерометрия
Бібліографічний опис
Білокінь С. О. Визначення фізико-механічних характеристик поверхонь виробів наноелектроніки методом склерометрії / Білокінь С. О. // Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування : збірник наукових праць. – 2013. – Вип. 46. – С. 112–117. – Бібліогр.: 5 назв.