Визначення фізико-механічних характеристик поверхонь виробів наноелектроніки методом склерометрії

Вантажиться...
Ескіз

Дата

2013

Науковий керівник

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

НТУУ "КПІ"

Анотація

Опис

Ключові слова

атомно-силова мікроскопія, мікротвердість, зносостійкість, наноелектроніка, склерометрія, atomic-force microscopy, microhardness, wearproofness, nanoelectronics, sclerometry, атомно-силовая микроскопия, микротвердость, износостойкость, наноэлектроника, склерометрия

Бібліографічний опис

Білокінь С. О. Визначення фізико-механічних характеристик поверхонь виробів наноелектроніки методом склерометрії / Білокінь С. О. // Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування : збірник наукових праць. – 2013. – Вип. 46. – С. 112–117. – Бібліогр.: 5 назв.

DOI