Вплив йонного опромінення на структурно-фазові перетворення в тонких плівках Cu/Cr, Ni/Cr, Ni/Cu/Cr при термічному відпалі

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.advisorВолошко, Світлана Михайлівна
dc.contributor.authorГрищенко, Вікторія Андріївна
dc.date.accessioned2020-07-01T14:37:42Z
dc.date.available2020-07-01T14:37:42Z
dc.date.issued2020-05
dc.description.abstractenMaster thesis: 81 pages, 41 figure, 12 tables, 38 references. The object of research is structural-phase transformations in nanolayer compositions Cu/Cr, Ni/Cr, Ni/Cu/Cr under conditions of vacuum thermal annealing and with additional ion-plasma action. The purpose is to study the peculiarities of the influence of preliminary ion plasma action on structural-phase transformations in thin films Cu/Cr, Ni/Cr, Ni/Cu/Cr under conditions of thermal annealing. Research methods: secondary-ion mass spectrometry, transmission electron microscopy, in-situ high-energy electron diffraction. The peculiarities of the formation of the structure and phase composition of the Cu/Cr, Ni/Cr and Ni/Cu/Cr systems during annealing in vacuum in a wide temperature range have been studied. The thin film compositions were obtained by thermal evaporation in vacuum and subsequently subjected to ion-plasma and heat treatment to temperatures of 690 °C. After processing the film, it was investigated by secondary-ion mass spectrometry, transmission electron microscopy, in-situ high-energy electron diffraction. The development of redox processes, which are effectively controlled by the use of additional plasma treatment of films, has been recorded. Ionic low-energy effect stabilizes the structure of the studied systems by inhibiting recrystallization processes.uk
dc.description.abstractukМагістерська дисертація: 81 сторінка, 41 рисунків, 12 таблиць, 38 літературних джерел. Об’єкт досліджень:структурно-фазові перетворення в наношарових композиціях Cu/Cr, Ni/Cr, Ni/Cu/Cr за умов вакуумного термічного відпалу та з додатковою йонно-плазмовою обробкою. Мета роботи: дослідження особливостей впливу попередньої йонно-плазмової обробки на структурно-фазові перетворення у тонких плівках Cu/Cr, Ni/Cr, Ni/Cu/Crза умов термічного відпалу. Методи дослідження: мас-спектрометрія вторинних йонів, трансмісійна електронна мікроскопія, in-situ високоенергетична електронна дифракція. Досліджено особливості формування структури та фазового складу систем Cu/Cr, Ni/Cr та Ni/Cu/Cr при відпалі у вакуумі у широкому температурному інтервалі. Тонкоплівкові композиції були одержані шляхом термічного випаровування у вакуумі і, в подальшому, піддавалися йонно-плазмовій та термічній обробці до температур 690 °C. Після обробки плівки досліджено методами мас-спектрометрії вторинних йонів, трансмісійною електронною мікроскопією, in-situ високоенергетичною електронною дифракцією. Зафіксовано розвиток окисно-відновних процесів, які ефективно контролюються шляхом використання додаткового плазмового оброблення плівок. Йонний низькоенергетичний вплив стабілізує структуру досліджуваних систем шляхом гальмування процесів рекристалізації.uk
dc.format.page81 с.uk
dc.identifier.citationГрищенко, В. А. Вплив йонного опромінення на структурно-фазові перетворення в тонких плівках Cu/Cr, Ni/Cr, Ni/Cu/Cr при термічному відпалі : магістерська дис. : 132 Матеріалознавство / Грищенко Вікторія Андріївна. – Київ, 2020. – 81 с.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/34696
dc.language.isoukuk
dc.publisherКПІ ім. Ігоря Сікорськогоuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.subjectтонкоплівкова композиціяuk
dc.subjectструктурно-фазові перетворенняuk
dc.subjectтермічний відпалuk
dc.subjectйонна обробкаuk
dc.subjectелектронна мікроскопіяuk
dc.subjectthin film compositionuk
dc.subjectstructural-phase transformationsuk
dc.subjectthermal annealinguk
dc.subjection actionuk
dc.subjectelectronic microscopyuk
dc.titleВплив йонного опромінення на структурно-фазові перетворення в тонких плівках Cu/Cr, Ni/Cr, Ni/Cu/Cr при термічному відпаліuk
dc.typeMaster Thesisuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Hryshchenko_magistr.pdf
Розмір:
2.29 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
9.06 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Магістерські роботи (ФМ ІФФ)
Магістерські роботи