Вплив йонного опромінення на структурно-фазові перетворення в тонких плівках Cu/Cr, Ni/Cr, Ni/Cu/Cr при термічному відпалі

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.advisorВолошко, Світлана Михайлівна
dc.contributor.authorГрищенко, Вікторія Андріївна
dc.date.accessioned2020-07-01T14:37:42Z
dc.date.available2020-07-01T14:37:42Z
dc.date.issued2020-05
dc.description.abstractМагістерська дисертація: 81 сторінка, 41 рисунків, 12 таблиць, 38 літературних джерел. Об’єкт досліджень:структурно-фазові перетворення в наношарових композиціях Cu/Cr, Ni/Cr, Ni/Cu/Cr за умов вакуумного термічного відпалу та з додатковою йонно-плазмовою обробкою. Мета роботи: дослідження особливостей впливу попередньої йонно-плазмової обробки на структурно-фазові перетворення у тонких плівках Cu/Cr, Ni/Cr, Ni/Cu/Crза умов термічного відпалу. Методи дослідження: мас-спектрометрія вторинних йонів, трансмісійна електронна мікроскопія, in-situ високоенергетична електронна дифракція. Досліджено особливості формування структури та фазового складу систем Cu/Cr, Ni/Cr та Ni/Cu/Cr при відпалі у вакуумі у широкому температурному інтервалі. Тонкоплівкові композиції були одержані шляхом термічного випаровування у вакуумі і, в подальшому, піддавалися йонно-плазмовій та термічній обробці до температур 690 °C. Після обробки плівки досліджено методами мас-спектрометрії вторинних йонів, трансмісійною електронною мікроскопією, in-situ високоенергетичною електронною дифракцією. Зафіксовано розвиток окисно-відновних процесів, які ефективно контролюються шляхом використання додаткового плазмового оброблення плівок. Йонний низькоенергетичний вплив стабілізує структуру досліджуваних систем шляхом гальмування процесів рекристалізації.uk
dc.description.abstractenMaster thesis: 81 pages, 41 figure, 12 tables, 38 references. The object of research is structural-phase transformations in nanolayer compositions Cu/Cr, Ni/Cr, Ni/Cu/Cr under conditions of vacuum thermal annealing and with additional ion-plasma action. The purpose is to study the peculiarities of the influence of preliminary ion plasma action on structural-phase transformations in thin films Cu/Cr, Ni/Cr, Ni/Cu/Cr under conditions of thermal annealing. Research methods: secondary-ion mass spectrometry, transmission electron microscopy, in-situ high-energy electron diffraction. The peculiarities of the formation of the structure and phase composition of the Cu/Cr, Ni/Cr and Ni/Cu/Cr systems during annealing in vacuum in a wide temperature range have been studied. The thin film compositions were obtained by thermal evaporation in vacuum and subsequently subjected to ion-plasma and heat treatment to temperatures of 690 °C. After processing the film, it was investigated by secondary-ion mass spectrometry, transmission electron microscopy, in-situ high-energy electron diffraction. The development of redox processes, which are effectively controlled by the use of additional plasma treatment of films, has been recorded. Ionic low-energy effect stabilizes the structure of the studied systems by inhibiting recrystallization processes.uk
dc.format.page81 с.uk
dc.identifier.citationГрищенко, В. А. Вплив йонного опромінення на структурно-фазові перетворення в тонких плівках Cu/Cr, Ni/Cr, Ni/Cu/Cr при термічному відпалі : магістерська дис. : 132 Матеріалознавство / Грищенко Вікторія Андріївна. – Київ, 2020. – 81 с.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/34696
dc.language.isoukuk
dc.publisherКПІ ім. Ігоря Сікорськогоuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.subjectтонкоплівкова композиціяuk
dc.subjectструктурно-фазові перетворенняuk
dc.subjectтермічний відпалuk
dc.subjectйонна обробкаuk
dc.subjectелектронна мікроскопіяuk
dc.subjectthin film compositionuk
dc.subjectstructural-phase transformationsuk
dc.subjectthermal annealinguk
dc.subjection actionuk
dc.subjectelectronic microscopyuk
dc.titleВплив йонного опромінення на структурно-фазові перетворення в тонких плівках Cu/Cr, Ni/Cr, Ni/Cu/Cr при термічному відпаліuk
dc.typeMaster Thesisuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Hryshchenko_magistr.pdf
Розмір:
2.29 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
9.06 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Магістерські роботи (ФМ ІФФ)
Магістерські роботи