Визначення фізико-механічних характеристик поверхонь виробів наноелектроніки методом склерометрії
Loading...
Files
Date
2013
Advisor
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
НТУУ "КПІ"
Abstract
Description
Keywords
атомно-силова мікроскопія, мікротвердість, зносостійкість, наноелектроніка, склерометрія, atomic-force microscopy, microhardness, wearproofness, nanoelectronics, sclerometry, атомно-силовая микроскопия, микротвердость, износостойкость, наноэлектроника, склерометрия
Citation
Білокінь С. О. Визначення фізико-механічних характеристик поверхонь виробів наноелектроніки методом склерометрії / Білокінь С. О. // Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування : збірник наукових праць. – 2013. – Вип. 46. – С. 112–117. – Бібліогр.: 5 назв.