Технологія мікроскопії із сфокусованим йонним пучком для прототипів наноприладів

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.advisorВерцанова, Олена Вікторівна
dc.contributor.authorЧипегін, Віталій Віталійович
dc.date.accessioned2024-06-27T07:45:12Z
dc.date.available2024-06-27T07:45:12Z
dc.date.issued2024
dc.description.abstractРоботу викладено на 63 сторінках, вона містить 4 розділи, 25 ілюстрацій, 3 таблиці та 17 джерел в списку використаної літератури. Об’єктом дослідження став метод створення прототипів наноприладів із застосуванням технології мікроскопії із сфокусованим іонним пучком. Предмет роботи – прототипування та створення наноприладів. Метою данної роботи стали методи створення та дослідження прототипів найпростіших наноструктур та наноприладів. Перший інформаційно-аналітичний розділ пояснює різні методи створення та дослідження наноструктур та наноприладів. У другому розділі викладено принцип роботи та структуру мікроскопу із сфокусованим іонним пучком. У третьому показані вже існуючі прототипи наноприладів та різні матеріали для їх створення. У четвертому переваги та недоліки методу мікроскопії із сфокусованим іонним пучком.
dc.description.abstractotherThe work is presented in 63 pages, containing 4 chapters, 25 illustrations, 3 tables, and 17 sources in the list of references. The object of the research is the method of creating prototypes of nanodevices using focused ion beam microscopy technology. The subject of the work is prototyping and creating nanodevices. The aim of this work is the methods of creating and studying prototypes of the simplest nanostructures and nanodevices. The first information-analytical chapter explains various methods of creating and studying nanostructures and nanodevices. The second chapter outlines the principle of operation and the structure of the focused ion beam microscope. The third chapter presents existing prototypes of nanodevices and various materials for their creation. The fourth chapter discusses the advantages and disadvantages of the focused ion beam microscopy method.
dc.format.extent68 с.
dc.identifier.citationЧипегін, В. В. Технологія мікроскопії із сфокусованим йонним пучком для прототипів наноприладів : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Чипегін Віталій Віталійович. – Київ, 2024. – 68 с.
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/67519
dc.language.isouk
dc.publisherКПІ ім. Ігоря Сікорського
dc.publisher.placeКиїв
dc.titleТехнологія мікроскопії із сфокусованим йонним пучком для прототипів наноприладів
dc.typeBachelor Thesis

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Chypehin_bakalavr.pdf
Розмір:
3.09 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
8.98 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Бакалаврські роботи (МЕ)
Бакалаврські роботи